波長范圍：

130nm-180nm

焦距：

360mm

光柵刻線數：

300條/mm

CCD像素分辨率：

12PM

最大功率：

200W

平均功率：

1200W

待機功率：

70W

光學系統：

帕刑-龍格結構羅蘭圓光系統

高度：

1130mm

深度：

720mm

寬度：

840mm

重量：

160kg(不含真空泵)

電源：

110/230V(50/60Hz)

頻率：

100-500V

讀出系統：

采用最新技術的外部PC工作站

產地：

德國